A530 描述

A530 移动式氦质谱检漏仪(Helium Mass Spectrometer Leak Detector)，是一款大抽速（前级泵抽速30 m3/h），低维护、高灵敏度、操作便捷的干泵检漏仪。A530 氦质谱检漏仪轻松检漏，使您放心得到快速准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜，光伏等行业。

功能特点

大抽速前级泵，工作效率高

支持正压检漏，负压检漏

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

自动跟踪本底功能，提供快速可靠的测量结果

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

机器卓越的性能支持7*24 小时长时间在线测试

双铱丝离子源，系统设计有效的防大气冲击功能

配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤

支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底有可便捷更换过滤器

指标：

最小可检漏率：5×10-13Pa·m3/s

漏率显示范围：1×10-3～1×10-13Pa·m3/s

启动时间：≤2min

响应时间：＜0.5s

检漏口最高工作压：1500Pa

前级泵抽速：30m3/h

配置：

德国普发分子泵，

涡旋干泵，30 m3/h

德国宝帝电磁阀

歌博氦质谱分析模块（双铱带离子源）

标准漏孔（10-8 Pa·m3/s）