一、 概述

背压检漏法是在氦质谱检漏法中应用较广泛的方法之一，它主要用于封离电子器件、半导体器件和具有内空腔的微电路封装等元件的气密性检测。

A601型氦气氟油加压仪可以用于元器件进行氦质谱检漏前的氦气加压，也可将元器件置于轻氟油中做氟油检漏前的加压。做氦质谱检测时示踪气体为氦气，进行氟油检漏时示踪物质是轻氟油。

二、 主要技术指标

允许最高充压： ≤0.8MPa

压力容器尺寸： Ф150×200 ㎜

容器真空压力： ≤100Pa

压 力 表：0-1.0MPa

电 源 功 率： 220V 400W

三、使用条件

设备使用之前需准备满足实验需要的氮气、氦气和轻氟油(F113)

四、 设备结构

该设备采取对称结构，具有两套功能完全相同的检测系统，上面两个容器用做元件在氦气中加压或浸在轻氟油中的氮气加压。下面两个容器用来存放轻氟油。设备台面上除加压容器、控制阀门、压力表还安装有液位显示装置。台面下部有机械泵、贮液罐和防止误操作装置等，设备操作开关和气路阀门在机架的左侧。

五、配置清单

序号         名称                     规格               数量

1        压力容器          Φ150x200mm          2 个

2        样品提篮          Φ135x150mm          2 个

3      轻氟油存储器      Φ150x200mm         2 个

4       真空压力阀         通经Ф12                 4个

5       真空压力阀          通经Ф6                 7件

6       数显压力表     真空—10 大气压         2 块

7      机械真空泵           3L/S                     1 台

8      氟油显示器                                       1 个